一、 核心目标与基本原则
核心目标：最大限度减少空气中的微粒、有害化学分子（AMC）、静电等污染物，确保生产工艺环境稳定可控，从而保证产品的高良率与高可靠性。
基本原则：
梯度压差原则：洁净度越高的区域，对外的静压值越高，防止低级别区域的污染物侵入。
人流/物流分流原则：人员与物料必须通过不同的专用通道进入，并设置严格的净化程序。
单向流（层流）原则：在关键区域使用垂直或水平单向流，迅速将污染物带走。
材料兼容性原则：洁净室内所有建材、设备、工具均需采用低释气、抗静电、不易产生微粒的材料。
二、 洁净度分级标准
国际上普遍采用 ISO 14644-1 标准，以单位体积空气中特定大小的微粒数量为依据进行分级。光学晶圆厂通常涉及以下关键级别：
三、 分区管控实施细则
工厂的物理布局应像一个“同心圆”或“迷宫”，从外到内，洁净度逐级提高。
1. 更衣与人员准入区 (ISO 8 → 更高)
功能：人员进入核心洁净厂房的唯一通道。
流程：换鞋 → 一次更衣（脱去外衣） → 洗手烘干 → 穿洁净服（连体服、手套、口罩、头套、洁净鞋） → 风淋室（通过高速洁净气流吹落衣物表面微粒） → 进入洁净走廊。
管控要点：
严格的着装规范和训练。
风淋室两侧门互锁，禁止同时开启。
设置镜子，确保着装无误。
2. 物料准入区 (ISO 7-8)
功能：所有物料、设备、工器具进入洁净室的通道。
流程：外包装拆除（在灰色区） → 货物经传递窗或货淋室进入 → 用高纯溶剂或无尘布擦拭 → 通过洁净室内部物流系统运送。
管控要点：
传递窗互锁，并有自净功能。
物料包装必须使用低释气、无脱落材料。
3. 洁净走廊 (ISO 5-7)
功能：连接各工艺模块的主通道，是维持厂区整体洁净度的“大动脉”。
管控要点：
保持对两侧工艺区域的正压。
地面通常铺设高导电率的防静电地板。
人员与物料在走廊内移动需遵守规定路线。
4. 核心工艺区 (ISO 1-5)
功能：进行光刻、刻蚀、沉积等核心制程的区域。
管控要点：
采用垂直层流送风天花板（FFU） 覆盖整个区域或关键设备上方，形成稳定的单向气流。
对温湿度进行精密控制（如温度±0.1°C，湿度±1%RH），以满足光学工艺的尺寸稳定性要求。
严格的微振动控制，特别是光刻区，需要高规格的抗震地基。
实时微粒监测系统（Particle Monitor）和压差传感器。
5. 支持区 (ISO 6-8)
功能：放置工艺设备的支持系统，如设备后端、局部化学品供应系统。
管控要点：
该区压力略低于核心工艺区，但高于洁净走廊，作为一道“缓冲带”。
6. 厂务基础设施区 (非洁净区)
功能：放置制程所需的支持系统，如超纯水系统、大宗气体系统、真空系统、废气处理系统。
管控要点：
虽然是非洁净区，但其稳定运行直接决定洁净室的品质。需重点监控超纯水电阻率、气体纯度等。
四、 动态管控与维护
实时监控系统：对整个厂房的压差、温湿度、洁净度等级进行7x24小时不间断监控和记录。
定期测试与认证：按照ISO 14644标准，定期进行风速、风量、气流平行度、泄漏、恢复能力等测试。
严格的清洁规程：使用专用的无尘工具和溶剂，由经过培训的洁净室专员按计划进行清洁。
人员持续培训：所有进入洁净室的人员必须反复接受行为规范培训，理解污染源来自人体的道理。
总结：对光学晶圆电子厂而言，净化洁净分区管控是一项复杂的系统工程。它通过物理分区、压差控制、气流组织、以及严格的人员与物料管理，构建了一个从宏观到微观的立体防护网络。成功的管控不仅依赖于高标准的硬件设施，更取决于持续、严谨的日常管理和每一位员工深入骨髓的洁净意识。辰远空调专注中央空调、净化洁净厂房二十年，专业提供合同能源管理、工商业节能改造、废热余热利用。秉承精益求精的精神，追求卓越节能智能科技。给您贴心的服务，舒适的享受。酷暑严寒，让我们为您的舒适生活保驾护航。辰远空调自有瑞仕龙智慧节能系统、瑞仕龙净化通风机组，麦克维尔中央空调、大金中央空调、天加中央空调、格力中央空调等一线品牌代理，为您提供稳定、节能、舒适的空调、净化通风、节能系统。本文由辰远空调原创发布来自http://www.hncynt.com。
